多晶硅生产技术
简介
本教材主要讲述改良西门子法生产多晶硅的制备原理及生产过程，主要包括三氯氢硅的合成、精馏提纯，三氯氢硅氢还原制备高纯硅、尾气干法回收、硅芯的制备等核心内容，同时对气体的制备与净化、四氯化硅的综合利用与处理、纯水的制备、硅烷法制备高纯硅做了详细介绍。教材紧密结合生产实践，注重理论与实践的有机结合。
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本教材主要讲述改良西门子法生产多晶硅的制备原理及生产过程，主要包括三氯氢硅的合成、精馏提纯，三氯氢硅氢还原制备高纯硅、尾气干法回收、硅芯的制备等核心内容，同时对气体的制备与净化、四氯化硅的综合利用与处理、纯水的制备、硅烷法制备高纯硅做了详细介绍。教材紧密结合生产实践，注重理论与实践的有机结合。