微系统设计导论（第2版）
| 作者 |
| 沃纳·卡尔·施默博格（Werner Karl Schomburg） |
| 丛书名 |
| 出版社 |
| 清华大学出版社 |
| ISBN |
| 9787302517573 |
| 简要 |
| 简介 |
| 内容简介 《微系统设计导论（第2版）》系统介绍组成微系统的基本微结构、功能单元和典型器件的设计，包括薄层、弹性元件（如膜片、微梁）、应变和位移的检测单元、电阻和电容的测量电路、静电驱动力、压电效应、毛细管力、微流体控制单元、微传感器、微执行器等，并附大量的设计计算练习题。 |
| 目录 |
绪论 第1章尺度效应 第2章弹性变形 第3章薄膜 练习题 第4章导路 练习题 第5章电学测量 练习题 第6章膜片 练习题 第7章膜片上的应变计 练习题 第8章梁 练习题 第9章振动 练习题 第10章微流道 练习题 第11章电容力 练习题 第12章压电效应 练习题 第13章热执行器 练习题 第14章微光学技术 练习题 第15章扩散 练习题 第16章微阀 练习题 第17章微泵 练习题 第18章微量给料 第19章物理域的类比性 练习题 第20章机械电子器件 练习题 第21章压力传感器 练习题 第22章流量传感器 练习题 第23章惯性传感器 练习题 参考文献 |
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